冀时新闻报道 光刻胶是刻写芯片的 "电子墨水"，光刻胶关键材料则是墨水中决定清晰度、附着力、耐腐蚀性的核心成分。"深紫外光刻胶关键材料制备技术与应用"项目获得2025年度河北省科学技术奖技术发明一等奖。今天我们一起走近项目团队，看他们如何创新研发，打破国外垄断，助力我国集成电路产业向自主可控迈出坚实一步。

KrF光刻胶树脂单体材料，被称作光刻胶的"骨架"，是光刻胶原材料当中成本占比最大的部分。它的分子结构决定了光刻设备能否在毫厘之间刻出比头发丝还要细千倍的电路。

河北省技术发明奖一等奖获奖代表 河北科技大学教授 孙凤霞：光刻胶要求的金属杂质，一般控制在ppb级，也就是十亿分之一，相当于我们在我们全国十亿人口数量级，这么一个基础上，高选择性地选出来一个人，也就是这样级别的数量级上，也是不允许有金属杂质的。

长期以来，在半导体制造领域，光刻胶树脂的分子设计、合成与纯化工艺技术壁垒高。孙凤霞团队早早将研发重心聚焦于上游核心原料，对关键材料进行持续迭代攻关。这是一场耗时漫长的攻坚，不仅需反复验证工艺路径，还要承受下游验证周期的不确定性，产品研发与验证周期漫长。在资金与技术的双重压力下，团队只能在不断试错中拆解问题、打通技术路线。

河北省技术发明奖一等奖获奖代表 河北科技大学教授 孙凤霞：我们走的是高校科研研发加企业孵化加产业协同的这么一个闭环路径。团队长期驻厂，直面工艺，直面我们的成本，直面我们的稳定性。坚持十年磨一剑，不追短期的热点，不搞短平快。以极致品质通过芯片厂商严格苛刻的认证，让国产材料进入真正的供应链。

孙凤霞团队自主研发出原创性的除金属杂质纯化工艺，成功实现60余种光刻胶关键原材料的国产化，KrF光刻胶专用原材料在国内细分市场占有率达到11.05%，使此前高度依赖进口的核心环节逐步实现自主可控。

河北省技术发明奖一等奖获奖代表 河北科技大学教授 孙凤霞：艰辛的点太多了。不仅在实验室里边实现，要在产业上实现比登天还难。所以每一个环节的攻关，都流着太多的汗水和痛苦。用我自己以前经常说的一句话就是：一万次崩溃，一万次自己疗伤，一万次自己站起来。

小小的一滴光刻胶，关乎着芯片自主可控。突破光刻胶及其上游原材料技术，不仅是补齐产业短板，更为我国芯片产业迈向更高水平自立自强、深度融入全球创新格局打开了新空间。

河北省技术发明奖一等奖获奖代表 河北科技大学教授 孙凤霞：我们的突破就是要为国产芯片筑牢根基。也想跟青年科研人员说，选国家亟需的真问题，敢啃硬骨头，沉得住气，一定能走出中国自己的创新路，用科技担当实现我们强国的使命。